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薄膜黄光蚀刻剥膜 - 电子新知(1):液晶面板工艺制作流程详解

来源:安博电竞酒店北京发表日期:2023-07-01 13:36:50浏览量:1

  咱们以一个像素单位为例,如上图,这个像素中,淡色部分未曝光,而深色的是曝光部分。

  接着,用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉,这样就只剩余未曝光的光刻胶部分,然后用去离子水将溶解的光刻胶冲走。

  然后用恰当的酸刻液将无光刻胶掩盖的ITO膜的蚀刻掉,只保存光刻胶下方的ITO膜。ITO玻璃为(In2O3 与SnO2)的导电玻璃,未被光刻胶掩盖的ITO膜易与酸产生反响,而被光刻胶掩盖的ITO膜能够保存下来,得到相应的拉线电极。

  剥膜:用高浓度的碱液(NaOH 溶液)作脱膜液,将玻璃上余下的光刻胶剥离掉,从而使ITO玻璃构成与光刻掩模版完全一致的ITO图形。

  用有机溶液冲刷玻璃根本标签,将反响后的光刻胶带走,让玻璃坚持洁净状况。这样就完成了榜首道薄膜导电晶体制程,一般至少需求5道相同的进程,在玻璃上构成杂乱精细的电极图形。

  这样,前段Array制程就完毕了。从整个进程不难看出,前面在TFT玻璃上堆积ITO薄膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻,终究是为了在TFT玻璃上构成前期规划好的ITO电极图形,以便于在玻璃上操控液晶分子的运动。整个出产进程的大致过程并不杂乱,可是技能上的细节和注意事项十分繁琐,这儿咱们就不多做介绍了,有爱好的朋友能够自行查阅相关资料。

  液晶板所用玻璃的制作工艺也是十分考究。现在,全球最大的液晶面板用玻璃,首要由美国康宁、日本旭硝子等厂商供给,处于液晶面板出产制作的上游,这些厂商都掌握着玻璃出产工艺的技能专利。前几个月,由于地震构成康宁玻璃停炉事情,对液晶面板职业构成了必定的影响,可看出其在职业界的方位。

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